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常见压力传感器的分类(图文)
常用压力传感器有:
电容式压力传感器、变磁阻式压力传感器(变磁阻式传感器、差动变压器式压力传感器)、霍耳式压力传感器、光纤式压力传感器(见光纤传感器)、谐振式压力传感器等。
图1.电容式压力传感器
电容式压力传感器(capacitive type pressure transducer),是一种利用电容敏感元件将被测压力转换成与之成一定关系的电量输出的压力传感器。特点是,低的输入力和侏儒能量,高动态响应,小的自然效应,环境适应性好。
图2.变磁阻式压力传感器
变磁阻式传感器(又称自感式电感传感器)属于电感式传感器的一种。它是利用线圈自感量的变化来实现测量的,它由线圈、铁芯和衔铁三部分组成。
图3.差动变压器式压力传感器
把被测量的变化转换为线圈互感量的变化,且二次线圈又接成差动形式,这种根据变压器的基本原理做成的传感器称为差动变压器。
差动变压器压力传感器的结构有Ⅱ型结构、螺管型结构。传感器的灵敏度随电源电压和变压器的增大而提高,随初始间隙增大而降低。Ⅱ型结构的差动变压器衔铁为平板形,灵敏度较高,但测量范围小,一般用于测量几微米至几百微米的机械位移,螺管型结构的差动变压器,测量范围达1mm至上百毫米。
图4.霍耳式压力传感器
霍耳式压力传感器是于霍耳效应的压力传感器。它将霍耳元件固定于弹性敏感元件上,在压力的作用下霍耳元件随弹性敏感元件的变形而在磁场中产生位移,从而输出与压力成一定关系的电信号。
图5.光纤式压力传感器
伴随着光导纤维及光纤通信技术的发展而迅速发展起来的一种以光为载体,光纤为媒质,感知和传输外界信号(被测量)的新型传感技术。当这种外界信号为压力时,即构成光纤压力传感器。光纤压力传感器作为一种新型的传感器,与传统的压力传感器相比体积小、重量轻,具有电绝缘性、不受电磁干扰、可用于易燃易爆的环境中等优点,另外还可以构成光纤分布式压力传感器,对桥梁、大坝等进行健康状况的实时监测。
图6.谐振式压力传感器
谐振式压力传感器是利用谐振元件把被测压力转换成频率信号的压力传感器。
利用谐振元件把被测压力转换成频率信号的压力传感器。它是谐振式传感器的重要应用方面,主要有振弦式压力传感器(见振弦式传感器)、振筒式压力传感器(见振筒式传感器)、振膜式压力传感器(见振膜式传感器)和石英晶体谐振式压力传感器(见石英晶体谐振式传感器)。